软射线光学多层膜论文

论文摘要基于Parratt循环光学理论和软X射线光学多层膜的选材原则,设计了应用在18nm附近的Ti/Al软X射线光学多层膜(Λ=9.25nm,Γ=0.3,N=20)。用磁控溅...