柔性并联机构论文

论文摘要随着纳米技术的不断发展,微定位技术作为纳米技术的关键技术之一,已成为国内外关注的热点。以压电元件与全柔性机构相结合的微定位机构是目前常见的微定位设备。本文从构型设计、运...