气敏裸片论文

气敏裸片动态性能参数测试系统研制
论文摘要气体传感器在投入应用之前对其性能指标进行检测是气体传感器研制过程中必不可少的步骤。半导体气体传感器的裸片简称为气敏裸片,是按照特定制备工艺进行初步加工但未经封装的敏感体...