迁移激活能论文

Ta-Si-N表面生长中粒子迁移行为的第一性原理研究
论文摘要本课题是国家自然科学基金项目（50845065）、内蒙古教育科研基金项目（NJ06077）和内蒙古自然科学基金项目（2010Zd02）的一部分。这些项目是要研究比Ti-...