频闪干涉论文

MEMS微结构动态测试方法及关键技术研究
论文摘要为提高微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS）产品的可靠性和稳定性,推进其产业化进程,对MEMS微结构动态机械特性进行测试...