片上匹配电容论文

一种新型硅微加速度计的设计与制造工艺研究
论文摘要微加速度计是惯性导航系统中最重要的惯性器件之一,其精度水平直接影响和决定导航和制导的精度。在众多种类的加速度计中,电容式加速度计由于具有高灵敏度、较好的噪声特性、低漂移...