纳米多层复合薄膜论文

磁控溅射MoSx/MoSx-Mo纳米多层复合薄膜的环境摩擦磨损性能
论文摘要本文以金属表面低摩擦和高耐磨性的复合薄膜材料为应用背景,对MoSx/MoSx-Mo纳米多层复合薄膜的沉积制备工艺、组织结构及摩擦磨损性能进行了研究。论文主要探讨了溅射气...