脉冲负偏压论文

论文摘要本文采用自制的等离子体化学气相沉积多功能系统,分别使用电感耦合等离子体源和脉冲辉光等离子体源制备出了质量较好的氢化非晶硅薄膜和类金刚石薄膜（氢化非晶碳薄膜的一种）与平面...