面形偏差论文

二次曲面镜的朗奇法检验灵敏度及精度分析研究
论文摘要本文首先介绍了二次曲面镜的朗奇检验法的发展历史及研究现状、朗奇检验的几何和物理原理,其次还介绍了朗奇光栅制作原理及朗奇检验灵敏度的传统分析方法和定义等相关理论。针对二次...