毛细管放电论文

放电等离子体极紫外光谱测量及分析
论文摘要极紫外（ExtremeUltraviolet,EUV）光刻技术被认为是下一代最有前途的光刻技术之一,而其中的光源被认为是影响EUV光刻技术大规模工业化生产的首要问题。放...
毛细管放电的X光激光若干特性及极紫外光刻光源研究
论文摘要极紫外光的波长越短,与软X射线的谱区重叠越多。在波长重叠的区域内,由于光束相干性的缘故,同样波长的辐射有时称为极紫外光,有时称为软X射线激光,这可能源于人们的习惯。无论...