迈克尔逊干涉论文

论文摘要本文设计和制作了一种基于迈克尔逊干涉原理的光纤干涉应变测试仪。该测试仪通过光纤迈克尔逊干涉传感器解调被测对象的应变信号,再经光电转换、信号调理、判向计数等电路实现对应变...

论文题目:迈克尔逊干涉型集成光学加速度地震检波器的理论与实验研究论文类型:博士论文论文专业:物理电子学作者:恩德导师:陈才和关键词:加速度地震检波器,迈克尔逊干涉,集成光学,电...

本文主要研究内容作者闫新宇（2019）在《低相干光扫描干涉技术在硅晶片几何特征测量中的应用》一文中研究指出：低相干光扫描干涉技术在表面形貌测量中有着广泛的应用。硅晶片在半导体制...