离子层气相反应法论文

论文题目:离子层气相反应法（ILGAR）制备硫属半导体薄膜的研究论文类型:博士论文论文专业:材料学作者:邱继军导师:靳正国关键词:硫属半导体,离子层气相反应法,混合离子吸附工艺...