空洞型缺陷论文

论文摘要以N型重掺直拉硅单晶片为衬底的硅外延片被广泛用于集成电路以及功率器件的制造。为了提高器件的成品率,通常要求外延硅片具有内吸杂能力,这就要求作为衬底的重掺硅片在器件制造过...

论文摘要大型锻件作为大型成套设备的核心零件，在国民经济建设、国防装备发展和现代尖端科学技术重大装置的建设中，起着非常重要的作用。其生产能力、产品级别与性能质量水平己成为一个国家...

论文摘要大锻件作为大型成套设备的核心零件,在电力、钢铁、石化、造船、交通、军工、重矿机械、航空航天等行业的发展中发挥着非常重要的作用,其技术水平是衡量一个国家工业发展的重要指标...

论文摘要超大规模集成电路的高速发展对硅单晶材料提出了愈来愈严格的要求,控制和消除直拉硅中的微缺陷是硅材料开发面临的最关键的问题。随着直拉硅单晶的大直径化,硅中氧含量有所下降,而...