刻蚀速率均匀性论文

0.18微米侧壁（Spacer）干法刻蚀工艺的开发与优化
论文摘要本论文开发并优化了0.18微米技术侧壁（Spacer）的干法刻蚀工艺,通过利用公司现有设备,改进原工艺不足,开发出满足产品要求的刻蚀工艺。本论文根据0.18微米技术侧壁...