金属氧化物化学气相沉积论文

论文摘要21世纪的信息技术将是以信息功能材料为基础的微电子、光电子和光子技术融合的高技术。发展光集成技术或光电集成技术,研制低成本、高性能的光电信息器件将变得尤为重要。光电集成...