晶片键合论文

论文摘要21世纪的信息技术将是以信息功能材料为基础的微电子、光电子和光子技术融合的高技术。发展光集成技术或光电集成技术,研制低成本、高性能的光电信息器件将变得尤为重要。光电集成...

论文摘要本论文工作是围绕任晓敏教授为首席科学家的国家重点基础研究发展规划项目(973计划项目)“新一代通信光电子集成器件及光纤的重要结构工艺创新与基础研究”(项目编号：2003...

论文摘要本论文工作是围绕任晓敏教授任首席科学家的国家重点基础研究发展规划项目(973计划项目)“新一代通信光电子集成器件及光纤的重要结构工艺创新与基础研究”项目分课题二“低温晶...