静电微型泵论文

基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统建模及其实施技术研究
论文摘要随着电子元器件集成度的不断提高,微电子系统的热控制问题越来越严重,成为急需解决的难题之一。本文在分析传统的冷却方法的基础上提出了基于MEMS的微介电液滴冲击系统,并对该...