静电微陀螺论文

论文摘要静电悬浮转子微陀螺是一种由扁平转子和定子电极（包括悬浮、旋转和检测等电极）构成的MEMS器件。它采用高精度静电陀螺球形转子的支承方式和经典陀螺仪盘形转子的工作方式,具有...