静电结构耦合论文

本文主要研究内容作者季奇波,张印强,杨波,李丽娟,刘琴,周中鑫（2019）在《四质量硅微陀螺阵列的正交误差校正系统分析》一文中研究指出：为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度...