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  • 王健健:Hf0.5Zr0.5O2基铁电电容器的特性研究论文

    王健健:Hf0.5Zr0.5O2基铁电电容器的特性研究论文

    本文主要研究内容作者王健健,白华,许高博,李梅,毕津顺(2019)在《Hf0.5Zr0.5O2基铁电电容器的特性研究》一文中研究指出:利用原子层淀积工艺制备了9nm厚的铪锆氧(...
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