夹持电压论文

多晶硅刻蚀中静电吸盘对产品的影响及其寿命的提高
论文摘要在超大规模集成电路制造过程中,静电吸盘（ESC）以其良好的热传导性及较少的缺陷产生率已经广泛应用于ETCH,CVD等制造工艺中。ESC除了有夹持晶圆,冷却晶圆的作用外,...