红外气体探测器论文

用于气体传感的红外探测器材料与器件制备
论文摘要近年来，基于微机电系统（Micro-electro-MechanicalSystems：MEMS）技术的非致冷红外气体探测器成为传感领域的研究热点。它在监测特定气体如可...