合成波长论文

论文摘要近年来,随着微电子、超精密加工等高新技术的迅速发展,对纳米位移测量技术及仪器提出了既要测量范围大又要同时达到纳米级测量精度的要求,为了保证纳米位移测量仪器高测量精度的实...

本文主要研究内容作者陈强华,刘斌超,罗会甫,罗军,吕唯唯,王锋（2019）在《采用三稳频激光源实现绝对长度测量》一文中研究指出：合成波长法利用多个波长构建数值足够大的合成波长,...