硅微型机械陀螺仪论文

提高硅微陀螺仪性能若干关键技术研究 ——正交误差与杂散电容分析研究
论文摘要随着对微电子机械系统（MEMS）的深入研究和取得的进展,以及目前市场对低成本、高可靠性以及微型化角速率传感器的需求,硅微机械陀螺仪已成为过去近二十年内广泛研究和发展的主...