硅模具论文

微流控芯片超声波键合能量引导微结构设计与工艺
论文摘要当前,聚合物微流控芯片在各种不同的应用领域成功取得了越来越多的认同,例如分析化学、生物学、制药、化学合成系统等。除了功能的改善与提高,这一成功主要归功于微流控芯片制造成...