光学级多晶金刚石薄膜论文

MPCVD法制备光学级多晶金刚石膜及同质外延金刚石单晶
论文摘要本文采用MPCVD(MicrowavePlasmaChemicalVaporDeposition)方法,在硅衬底上沉积多晶金刚石薄膜,通过优化生长条件,成功的制备了直径...