光刻技术论文

论文摘要光刻技术作为半导体行业发展主要驱动力受到人们极大的关注。本论文主要研究获得窄线宽、高功率光刻机光源的注入锁定技术。首先，本论文对注入锁定技术的原理概念做了论述，在此基础...

论文摘要微透镜阵列在光束整形、光束准直等方面有着非常重要的作用,制作微透镜阵列的方法也有多种。本文针对柱面微透镜阵列的制作,在研究掩模移动光刻原理及方法的基础上,研究了数字掩模...