共格应力论文

热处理导致的Cu/Ni多层膜的扩散和微观结构变化
论文摘要本文首先通过磁控溅射法在硅基体上制备了不同膜厚的Cu/Ni多层膜,对其进行不同工艺的热处理,采用TEM、STEM、XPS、纳米压痕等实验手段研究了多层膜中晶界、相界的演...