铬硅化物薄膜论文

CrSi（Ni，Al）薄膜在酸性环境介质中电学稳定性及腐蚀行为的研究
论文摘要Cr-Si系硅化物薄膜山于具有较高的片层电阻、较小的电阻温度系数（TCR）、良好的热稳定性、化学稳定性以及长期使用可靠性，在微电子技术和集成电路中广泛用作精密电阻薄膜材...