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  • MPCVD法制备光学级多晶金刚石膜及同质外延金刚石单晶

    MPCVD法制备光学级多晶金刚石膜及同质外延金刚石单晶

    论文摘要本文采用MPCVD(MicrowavePlasmaChemicalVaporDeposition)方法,在硅衬底上沉积多晶金刚石薄膜,通过优化生长条件,成功的制备了直径...
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