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  • 磁控溅射NdFeB/Co多层膜组织结构及磁性能研究

    磁控溅射NdFeB/Co多层膜组织结构及磁性能研究

    论文摘要本文采用磁控溅射法制备了NdFeB单层膜以及NdFeB/Co交替多层膜,利用SEM、AFM、XRD、VSM、SQUID等方法,测定了薄膜的厚度、表面形貌、相结构和磁性能...
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