高功率脉冲磁控溅射技术论文

本文主要研究内容作者朱宇杰,马景灵,王广欣,秦聪慧（2019）在《HIPIMS技术制备CrN及CrAlN涂层的性能》一文中研究指出：用高能脉冲靶和双极脉冲靶共溅射的方式,采用高...