干涉显微镜论文

基于白光干涉的表面形貌接触和非接触两用测量系统的研究
论文摘要表面形貌的测量方法通常可分接触式和非接触式两种,这两种方法在许多方面具有互补性且各自有自己的应用领域,因此有必要将两种测量技术集合组成一种混合型的测量仪器。本文以白光干...