感光薄膜论文

衍射光栅的光刻工艺研究
论文摘要衍射光栅是一种重要的光学元件,在光谱测量、光计算、光信息处理等诸多领域有着广泛的应用。随着光栅应用的不断深入,对其性能要求也逐渐提高,而增大光栅的面积和衍射效率是提高光...