分子级空气污染论文

半导体代工厂洁净室的设计、监控和管理案例分析
论文摘要在半导体代工厂中,洁净室系统为整条生产线提供洁净的环境,是硅芯片赖以生产加工最基本的条件。洁净室,是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将...