分层计算方法论文

薄膜厚度的α能损法测量和γ谱探测效率的MCNP模拟描述方法研究
论文摘要薄膜厚度分析在材料科学、半导体技术、光学器件及生物材料中历来受到人们的重视，随着薄膜技术的应用与发展，越来越需要有对膜厚更加准确和灵敏的测量方法和技术。通常采用的膜厚光...