二次粒子溅射论文

Ar～（q+）与固体表面相互作用中的溅射行为与纳米效应的研究
论文摘要近年来各种离子源，如电子回旋共振离子源（ElectronCyclotronResonanceIonSource-ECR）、电子束离子源（ElectronBeamIonS...