多层结构薄膜论文

论文摘要本文采用射频磁控溅射法制备了LiNbO3/Si、LiNbO3/SiO2/Si结构薄膜。通过X射线衍射（XRD）、X射线小角衍射、电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）和傅...