对准技术论文

单片OEICs光器件的激光微细加工研制
论文摘要单片光电集成器件（OEICS）是将光器件和电器件两种性能、结构完全不同的器件集成在同一衬底上,需要解决光电兼容的问题,因此至今尚未完全实用化。激光微细加工技术具有“低温...