电子能量分布论文

论文摘要负电子亲和势GaAs光电阴极经过40多年的长足发展之后,已经在阴极理论、工艺、模型与表征技术等方面取得了显著的成绩,GaAs光电阴极也因而在微光像增强器和真空电子源等领...

论文摘要由于射频感应耦合放电可以在低气压下产生高密度的均匀等离子体,因此它在等离子体刻蚀和薄膜沉积等工艺中有着广泛地应用。本文针对平面线圈感应耦合等离子体（TCP）,采用动力学...