电子级多晶硅论文

本文主要研究内容作者马启坤,赵桂洁,宋东明,陈丽娟,张健雄（2019）在《数值建模在电子级多晶硅制备中的应用》一文中研究指出：利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内...