电子回旋共振微波放电论文

论文摘要本论文主要研究方向为利用激光烧蚀和微波放电联合作用摸索一种制备氧化锌薄膜材料的新方法,并在此基础上研究氧化锌的性质和氮掺杂。这种方法结合了脉冲激光沉积法和电子回旋共振（...

论文摘要本文的主要内容是利用脉冲激光烧蚀（pulsedlaserablation,PLA）产生的激光等离子体和电子回旋共振（electroncyclotronresonance...

论文摘要本论文分为两部分,一是在激光和等离子体特性研究的基础上进行激光和等离子体的应用探索,利用基于电子回旋共振（electroncyclotronresonance,ECR）...