电极脱层屈曲论文

论文摘要非制冷红外探测器内的铁电薄膜微桥是多层的结构体系。中间一层为智能材料,上下覆盖着金属电极,还有保护层等。如今的红外探测器内的像元数目越来越多,微桥结构也越来越小,对器件...