电感耦合微波等离子体源论文

小功率平面微带电感耦合微波等离子体源的研究
论文摘要基于微系统的小功率微波等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术。其基本思想是采用微带电路通过小功率微波激励小尺寸的等离子体...