电感耦合等离子体论文

论文摘要近年来，新材料、新能源行业迅猛发展，环境生态、食品安全问题日益凸显，ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪）作为具有广泛适用性的痕量超痕量分析工具，涉足领域愈来愈广，体现...

论文摘要硅由于具有在地壳中储量丰富,无毒等优点,成为目前能量开发、利用和存储领域研究的热点材料。在对以薄膜叠层电池和纳米结构电池为代表的第三代高效太阳电池的研究与开发中,微晶硅...

论文摘要等离子体浸没离子注入克服了视线限制,具有注入效率高、对三维物体处理能力强、与等离子体工艺兼容的特点,在金属材料、化工材料的表面处理和微电子材料的制备等方面有着广阔的应用...

论文摘要随着城市污水量的不断增加,污水处理过程中产生的污泥量也在不断增加。污泥中不仅含有丰富的营养元素,也含有难降解的金属有毒物质,如果处理不当则会造成更严重的二次污染,同时有...

论文摘要在MEMS器件及系统的制造中,电感耦合等离子体(ICP)对硅片的刻蚀工艺由于具备操作简单、各向异性性能好、刻蚀速率快、成本低等特点,是目前实现高深宽比结构制造的主流工艺...

本文主要研究内容作者王永清,杨永旺,万真真,申玉民,刘庆学（2019）在《立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究》一文中研究指出：介绍了一种电感耦合等离子体(Ind...