弹性膜片论文

论文题目:MEMS高温压力传感器若干关键技术的研究论文类型:硕士论文论文专业:机械电子工程作者:颜鹰导师:史铁林关键词:压力传感器,弹性膜片,各向异性腐蚀,有限元文献来源:华中...