沉积速率

导读:本文包含了氮掺杂薄膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:氮掺杂二氧化钛薄膜,射频磁控溅射,沉积速率,禁带宽度氮掺杂薄膜论文文献综述杨勇,汪冰洁,姚婷婷,李...