超硬效应论文

论文摘要CrAlN涂层是一种新型性能优异的硬质涂层，因其具有优异的力学性能和抗高温氧化性能而成为涂层领域的研究热点。本文选择直流反应磁控溅射工艺，研究了工艺参数、元素比例对Cr...

论文摘要本论文采用磁控溅射方法制备不同调制周期的AlN/Si3N4纳米多层膜和一系列不同Si含量的Zr-Si-N复合薄膜。研究了Si3N4非晶层在w-AlN晶体层上的晶化现象以...

论文摘要以TiN为代表的陶瓷硬质薄膜在包括切削工具涂层在内的表面改性和防护领域得到广泛应用。制造业中高速切削和干式切削等先进技术的发展对刀具提出了更高的要求,需要作为刀具涂层的...