超声椭圆振动论文

超声椭圆振动—化学机械复合抛光硅片技术的基础研究
论文摘要在深入分析国内外化学机械抛光和超声加工技术研究现状的基础上,针对硅片传统化学机械抛光技术现状及其存在问题,特别是随着硅片直径不断增大,硅片抛光表面质量和抛光效率成为一个...