掺类金刚石薄膜论文

论文摘要由于高的金属离化率,高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）技术制备的薄膜结构致密,性能优异。对于大型磁控靶,HPPMS峰值功率可以提高到兆瓦级,脉冲电流可以达到几千安,这对于...